產品列表PRODUCTS LIST

首頁 > 技術與支持 > 藍寶石晶片有氧/無氧退火解決方案
藍寶石晶片有氧/無氧退火解決方案
點擊次數:154 發布時間:2020-09-11

 

  通常,GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優點:首先,藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好;其次,藍寶石的穩定性很好,能夠運用在向日葵视频app入口生長過程中;最後,藍寶石的機械強度高,易於處理和清洗。因此,大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底材料。

  在顯示及電子器件中,藍寶石襯底厚度僅有上百微米,在藍寶石襯底的切割、雙麵研磨以及單麵研磨、拋光過程中,盡管部分的加工應力會在下一道加工工序釋放,但是這種應力釋放是無序釋放,同時未釋放的加工應力會在晶片表麵集聚,影響藍寶石晶片的翹曲程度,嚴重的翹曲會在後道加工過程產生破片,影響整個加工循環的晶片質量。

  藍寶石襯底晶片加工過程中,研磨作業後需要進行退火處理,退火前需對襯底進行清洗,將清洗幹淨後的襯底放入退火爐中進行向日葵视频app黄退火,以去除加工過程中所殘餘的應力,並消除殘餘應力所引起的襯底形變。

  向日葵视频app视频污版在线下载官网科技針對行業需求,潛心研發有氧和無氧襯底退火爐設備,以滿足客戶加工工藝的要求,創造優越的工業產品。

藍寶石晶片無氧退火爐

 藍寶石晶片有氧退火爐

特點

  去應力:使藍寶石便於加工,切屑。

  消除應力集中,避免晶片自動開裂,以及加工中產生裂紋、爆口等。

  退火工藝升溫速率不宜過快,直徑越大,保溫時間應越長;降溫時間應大於升溫時間,避免再次產生應力。

  去色心:使藍寶石更透明,透光更好。

技術參數

1)無氧退火爐

 

 2)有氧退火爐

 

 典型應用

 

 

 

聯係人
在線客服
用心服務 成就你我